氣體質量流量計是真正的直接式質量流量計，不必對壓力溫度進行補償。氣體質量流量控制器和氣體質量流量計可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中，氣體質量流量計和氣體質量流量控制器結構氣體質量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。氣體質量流量計增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。

　　目前所用各種型式的氣體質量流量計，絕大部分是計量氣體的體積流量。由于氣體的體積隨溫度與壓力的不同而變動，所以常發生較大的計量誤差。如工作壓力經常變動，更使計量發生困難。氣體質量流量計的主要特點是不受溫度與壓力變動的影響，氣體質量流量計其顯示讀數直接指示氣體的質員流量。那么氣體質量流量計有哪些突出的優點？

　　1. 氣體質量流量計在常壓、高壓或負壓的條件下均可選用。

　　2. 氣體質量流量計適用的量程范圍寬，氣體質量流量計既能用于實驗室內小流量的場所也可用于工廠生產中的大型裝置。

　　3.氣體質量流量計的阻力降極微。

　　4. 抗介質腐蝕的能力強。

　　5.氣體質量流量計計量精度高。

　　6. 輸出電訊號，可遠傳顯示，氣體質量流量計還便于與其他儀表配合后實現流量記錄．自控或累計。

　　7.氣體質量流量計可在常溫、100度，甚至又高的溫度下正常運行。

　　氣體質量流量計是一種熱導式儀表早在本世紀初，后幾經變革慚趨完善。目前許多國家有氣體質量流量計的工業產品，氣體質量流量計廠泛應用于各個工業生產及科學實驗的領域。因此氣體質量流量計在選擇時要根據需要選擇合適的。